氣體名稱 | 化學(xué)式 | 純度(%) | 雜質(zhì)(ppm) |
高純氦氣 | He | 99.999% | O2＜1,CH4＜0.5, CO2＜0.5, Ne＜4 ,H2＜1, CO＜0.5 ,H2O＜3 ,N2＜2 |
高純氬氣 | Ar | 99.999% | O2≤1.5 ,CH4≤0.4, N2≤4, H2≤0.5, H2O≤3，CO≤0.3,CO2≤0.3 |
高純氫氣 | H2 | 99.999% | O2≤1 ,CO2≤1, N2≤5, CH4≤1 ,CO≤1 ,H2O≤3 |
高純氮氣 | N2 | 99.999% | O2≤3 ,H2O≤3, H2≤1, HC≤3 |
二氧化碳 | CO2 | 99.999% | O2≤1,H2O≤2,N2≤5,CO≤1,HC≤1 |
一氧化碳 | CO | 99.99% | H2＜10,O2+Ar＜10,N2＜50，CO2＜20，H2O＜5，THC＜5 |
二氧化硫 | SO2 | 99.9% | 氧+氮<100,水<10,其他<200 |
一氧化氮 | NO | 99.5% | 氧化亞氮<4000,二氧化氮<2000,氮氣<300,二氧化碳<500 |
硫化氫 | H2S | 99.9% | 氫氣<200ppm,氧氣+氮氣<100ppm,水<3ppm |
氯化氫 | HCL | 99.9% | H2≤50 02+Ar≤30 N2≤450 THC≤5 CO≤60 CO2≤400 H20≤5 |
氨 | NH3 | 99.999% | 氧氣 <1.0ppm,氮氣 <2.0ppm,一氧化碳<1.0ppm,水<2.0ppm,THC(C1~C3) <1.0ppm |
六氟化硫 | SF6 | 99.999% | O2+Ar≤2 ,N2≤2，H20≤3, HF≤0.1, CF4≤1，CO≤0.5， CO2≤0.5，CH4≤0.5 |
合成空氣 | Air | O2:19.5～22.5% | H2O≤5, CO/CO2≤0.5, THC≤5 |
零級空氣 | Air | O2: 19.5～22.5% | H2O≤5, CO/CO2≤0.5, THC≤0.1 |